近日，北工投資在管京國(guó)盛基金投資項(xiàng)目東方晶源微電子科技(北京)股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“東方晶源”)自主研發(fā)的新一代EOS取得突破性成果，率先實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)EOS在高端量測(cè)檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用，為國(guó)產(chǎn)電子束量測(cè)檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展進(jìn)一步夯實(shí)了基礎(chǔ)。

電子束量測(cè)檢測(cè)設(shè)備是芯片制造裝備中除光刻機(jī)之外技術(shù)難度最高的設(shè)備類別之一，深度參與光刻環(huán)節(jié)、對(duì)制程節(jié)點(diǎn)敏感并且對(duì)最終產(chǎn)線良率起到至關(guān)重要的作用。其最為核心的模塊為電子光學(xué)系統(tǒng)(Electron Optical System，簡(jiǎn)稱EOS)，決定設(shè)備的成像精度和質(zhì)量，進(jìn)而決定設(shè)備的性能。在電子束量測(cè)檢測(cè)領(lǐng)域，東方晶源始終堅(jiān)持自主研發(fā)，不斷深化研發(fā)投入。日前，東方晶源自主研發(fā)的新一代EOS“三箭齊發(fā)”，取得突破性成果，成功搭載到旗下電子束缺陷復(fù)檢設(shè)備(DR-SEM)、關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備(CD-SEM)、電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備(EBI)，率先實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)EOS在高端量測(cè)檢測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用，助力產(chǎn)品性能實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的攀升。

北工投資作為北京國(guó)資公司旗下私募基金管理平臺(tái)，主要承擔(dān)著高精尖基金及京國(guó)盛基金兩大母基金的管理，母子基金總規(guī)模逾300億元。近年來(lái)，北工投資以服務(wù)北京國(guó)際科技創(chuàng)新中心建設(shè)為己任，深入研究首都高精尖產(chǎn)業(yè)，通過(guò)基金投資以及代持政府資金投資等方式，超前進(jìn)行集成電路產(chǎn)業(yè)鏈規(guī)劃布局，先后投資了龍芯中科、科華微電子、中芯北方、有研硅、東方晶源等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)，覆蓋了從芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、芯片封測(cè)到材料與裝備制造的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

未來(lái)，北工投資將在北京國(guó)資公司的指導(dǎo)下，堅(jiān)持聚焦新質(zhì)生產(chǎn)力，全面助力科技創(chuàng)新型企業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)有效落地和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用，為我國(guó)實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)貢獻(xiàn)北京國(guó)資力量。